真空腔体真空阀门在真空系统中的作用及其分类

    真空腔体真空阀门在真空系统中的作用及其分类

    (1)开关气路 如图1所示，当阀1和阀4关闭，阀2打开时，机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空，气流流经预真空抽气管路；当阀2关闭，阀4打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空；当阀1和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。

    (2)控制气流大小，调节真空度在图1中，调节阀1的阀盖开启角度，即可调节流经管路的气流量大小；关闭阀2和阀4，通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气；通过放气阀5可以调节容器内的真空度。

    (3)定量充气如图2所示，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶连通时，小洞中就可充满高压气体；当它转向左边和真空容器连通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。

    真空阀门的种类繁多，通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类，其分类见表1。

    真空阀门的型号编制方法国家专业标准作了规定，可查阅有关标准。

    真空阀门分类

    根据阀门的职能：低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门

    根据结构塑：挡板阀、翻板阀，碟阀、隔板阀、闸阀、针阀、插板阀

    根据驱动方式：手动阀、电动阀、手电两用阀、电磁阀、气动阀、液压真空阀

    根据材料：金属真空阀、玻璃真空活塞(考克)、塑料阀

    根据用途:截止阀、隔离阀、放气阀、节流阀、换向阀、封闭送料阀

    根据通道方式:脚阀、直通阀、双通阀、三通阀、四通阀