半导体真空腔体的应用有哪些

半导体真空腔体的应用有哪些

中国半导体真空腔体市场近几年快速发展,越来越多的公司也表达了进入芯片领域的兴趣.以存储芯片为例,以前中国国内存储芯片靠进口,今年福建晋华集成电路的内存生产线有望投产,另外长江存储科技公司也在建设内存和闪存芯片生产线.格力、康佳等传统家电企业也表示,将进入芯片领域.

据国际半导体设备与材料协会报告显示,中国目前正在天津、西安、北京、上海等16个地区打造25个FAB建设项目,福建晋华集成电路、长江存储科技公司等企业技术水平虽不及韩国,但均已投入芯片量产.报告预测,今年中国半导体设备市场规模有望达118亿美元,实现同比43.9%的增长,并且明年市场规模有望扩大至173亿美元,增长46.6%,成为全球一大市场.而同一时期内韩国的半导体设备市场规模从179.6亿美元减少至163亿美元,减幅为9.2%.中国超越韩国成为全球很大半导体设备市场.

铝合金腔体在等离子清洗中的应用

等离子清洗机又称等离子清洁机,离子表面处理仪,是一种新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果.等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等.等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的.

在铝合金腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下会产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面．以达到清洗目的．

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵

一、控制单元

国内使用的等离子清洗机,包括国外进口的,控制单元主要分为全自动控制、半自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式.

其中控制单元又分为两部分：

1.电源部分：主要电源频率有三种,分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要电源匹配器的.

2.系统控制单元：按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）.

二、真空腔体：

真空腔体主要是分为两种材质的：

1.不锈钢真空腔体

2.铝合金腔体

三、真空泵：

真空泵分为两种：

1.干泵

2.油泵