真空系统：低/高真空的获得

真空系统：低/高真空的获得

低真空的获得  

获得低真空常采用机械泵，机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀，从而获得真空的装置。

它可以直接在大气压下开始工作，极限真空度一般为1.33-1.33x10-2pa, 抽气速率与转速及空腔体积V的大小有关，一般在每秒几升到每秒几十升之间。

高真空的获得 

目前，广泛使用的获得高真空的泵就是扩散泵。扩散泵是利用气体扩散现象来抽气的，它不能直接在大气压下工作，而需要一定的预备真空度（1.33-0.133Pa）。

油扩散泵的极限真空度主要取决于油蒸汽压和气体分子的反扩散，一般能达到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽气速率与结构相关，每秒几升--几百升不等。真空系统

溅射镀膜

溅射靶材具有高纯度、高密度、多组元、晶粒均匀等特点，一般由靶坯和背板组成。

靶坯属于溅射靶材的核心部分，是高速离子束流轰击的目标材料。

靶坯被离子撞击后，其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。

由于高纯度金属强度较低，因此溅射靶材需要在高电压、高真空的机台环境内完成溅射过程。

超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合，背板起到主要起到固定溅射靶材的作用，且需要具备良好的导电、导热性能。

以上就是真空系统厂家整理的相关资料，希望对大家有所帮助。