真空蒸镀法

真空蒸镀法

真空蒸发镀膜法（简称真空蒸镀法，Vacuum Evaporation) 是指在一定的真空条件下，利用高温加热蒸镀材料（金属合金或金属氧化物）到一定温度条件下， 

使其原子或分子从表面汽化逸出，形成蒸汽流，并飞行溅射到玻璃基板表面凝结形成固态薄膜的方法。

由于真空蒸锻法的主要物理过程是通过加热蒸发材料而产生，所以又称热蒸发法。蒸发源作为蒸发装置的关键部件，

大多数蒸发材料都要求在1000-2000℃的高温下蒸发。真空蒸镀法按蒸发源的不同可分为电阻法、电子束蒸发法、高频感应法和激光蒸发法等。

目前，真空阀门采用真空蒸镀法生产镀膜玻璃的均是采用间歇式生产。

常用的涂层

1. 氮化钛涂层(TiN)

TiN是一种通用型PVD涂层，可以提高刀具硬度并具有较高的氧化温度。真空阀门该涂层用于高速钢切削刀具或成形工具可获得很不错的加工效果。

2. 氮化铬涂层(CrN)

CrN涂层良好的抗粘结性使其在容易产生积屑瘤的加工中成为涂层。涂覆了这种几乎无形的涂层后，高速钢刀具或硬质合金刀具和成形工具的加工性能将会大大改善。

3. 金刚石涂层(Diamond)

CVD金刚石涂层可为非铁金属材料加工刀具提供佳性能，是加工石墨、金属基复合材料(MMC)、高硅铝合金及许多其它高磨蚀材料的理想涂层（注意：纯金刚石涂层刀具不能用于加工钢件，因为加工钢件时会产生大量切削热，并导致发生化学反应，使涂层与刀具之间的粘附层遭到破坏）。

4. 涂层设备

适用于硬铣、攻丝和钻削加工的涂层各不相同，分别有其特定的使用场合。此外，真空阀门还可以采用多层涂层，此类涂层在表层与刀具基体之间还嵌入了其它涂层，可以进一步提高刀具的使用寿命。

5. 氮碳化钛涂层(TiCN)

TiCN涂层中添加的碳元素可提高刀具硬度并获得更好的表面润滑性，是高速钢刀具的理想涂层。

6. 氮铝钛或氮钛铝涂层(TiAlN/AlTiN)

TiAlN/AlTiN涂层中形成的氧化铝层可以有效提高刀具的高温加工寿命。主要用于干式或半干式切削加工的硬质合金刀具可选用该涂层。根据涂层中所含铝和钛的比例不同，AlTiN涂层可提供比TiAlN涂层更高的表面硬度，因此它是高速加工领域又一个可行的涂层选择。