降低真空系统漏率方法

降低真空系统漏率方法

真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，真空系统将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。

1、真空系统尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。

2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，采用圆弧过渡，使气路畅通无阻，但真空系统要考虑清洗清扫的方便性。

3、认真设计真空室内各种连接件的结构，使气路畅通，避免气路堵塞。

4、打磨抛光真空系统内表面，表面越光亮就越不易气体吸附，越容易获得真空。

5、尽可能减小真空室的体积，缩短管路系统。

密封形式的选择

密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式，对于人工晶体生长设备，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例，我们选择磁性流体密封作为旋转动密封，选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封，小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封，各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式，直径压缩比为25％。

密封件材质的选用：真空度在lO-3Pa以下的真空系统，密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是，考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度最高可达2300oC，密封部位进行水冷后，真空系统其温度在80oC左右，个别处温度可达100oC以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料

用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，真空系统同时要有一定的强度、硬度和弹性等。