提高油扩散泵性能和质量

提高油扩散泵性能和质量

（1）目前国内生扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产。况且对泵的全面性能也没有考核指标。行业应对提高性能和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作，使用户配套方便。

（2）泵在结构方面：要缩小尺寸、降低重量，保证零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。

（3）增加附件。如设置挡油帽，过热保护装置（对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位）。出口压力的监控。

（4）规定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要观察油位，以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。

（5）给出合适的前级泵的容量。

（6）为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。

（7）给出各种被抽气体的性能曲线，好给出对一些气体的压缩比（方便用户选用。

（8）用微机控制运行和故障诊断。

（9）密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。

（10）真空阀门给出各种泵的返油率限定值，进一步降低返油率，扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少数部件需要维修，泵内无运动部件，工作中可更换加热器。硅油或聚苯醚的蒸汽压为10-9~10-10Torr，使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10Torr或更低的压力。

扩散泵的缺点是返油问题，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。